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基于可靠度仿真的MEMS加速度开关结构优化

丁丽梅 李世中 段荣杰

机械与电子2018,Vol.36Issue(11):34-37,4.
机械与电子2018,Vol.36Issue(11):34-37,4.

基于可靠度仿真的MEMS加速度开关结构优化

Structure Optimization of MEMS Acceleration Switch Based on Reliability Simulation

丁丽梅 1李世中 1段荣杰1

作者信息

  • 1. 中北大学机电工程学院,山西 太原 030051
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摘要

关键词

MEMS加速度开关/可靠度仿真/有限元分析/结构优化

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

丁丽梅,李世中,段荣杰..基于可靠度仿真的MEMS加速度开关结构优化[J].机械与电子,2018,36(11):34-37,4.

机械与电子

OACSTPCD

1001-2257

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