世界有色金属Issue(19)：228-229,2.
半导体用钽条制备工艺优化研究
Technology Optimization Research on Preparation of Tantalum Strip Used for Semiconductor
马小文 1李兆博 2杨烈 1黄浩 3汪凯 2李小平 1邵杰2
作者信息
- 1. 宁夏东方钽业股份有限公司,宁夏 石嘴山753000
- 2. 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心,宁夏 石嘴山753000
- 3. 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司稀有金属特种材料国家重点实验室,宁夏 石嘴山753000
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摘要
关键词
半导体用钽条/晶粒尺寸/制备工艺分类
矿业与冶金引用本文复制引用
马小文,李兆博,杨烈,黄浩,汪凯,李小平,邵杰..半导体用钽条制备工艺优化研究[J].世界有色金属,2018,(19):228-229,2.
