液晶与显示2018，Vol.33Issue(11)：925-930,6.DOI:10.3788/YJYXS20183311.0925
高可靠性Cu BCE a-IGZO TFTs的制作
Fabrication of high-reliability Cu BCE-structure IGZO TFTs
王晓 1葛世民 2李珊3
作者信息
- 1. 陕西科技大学电气与信息工程学院,陕西西安710049
- 2. 深圳华星光电半导体显示技术有限公司,广东深圳518132
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摘要
关键词
背沟道刻蚀型非晶氧化物薄膜晶体管/215.9mm(85in)/8K4K/GOA分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王晓,葛世民,李珊..高可靠性Cu BCE a-IGZO TFTs的制作[J].液晶与显示,2018,33(11):925-930,6.
