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浸没式光刻投影物镜光学薄膜

毕丹丹 张立超 时光

中国光学2018，Vol.11Issue(5)：745-764,20.
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中国光学2018，Vol.11Issue(5)：745-764,20.DOI:10.3788/CO.20181105.0745

浸没式光刻投影物镜光学薄膜

Optical coatings for projection objective immersion lithography

毕丹丹 1张立超 2时光1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心,吉林长春130039
  • 2. 中国科学院大学,北京100049
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摘要

关键词

浸没式光刻/光学薄膜/膜系设计/环境适应性/激光辐照寿命

分类

数理科学

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毕丹丹,张立超,时光..浸没式光刻投影物镜光学薄膜[J].中国光学,2018,11(5):745-764,20.

基金项目

国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205) （No.2009ZX02205）

中国光学

OA北大核心CSCDCSTPCD

2095-1531

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