光学精密工程2018，Vol.26Issue(10)：2389-2394,6.DOI:10.3788/OPE.20182610.2389
辉光放电清洗在同步辐射光束线上的应用
Applications of glow discharge cleaning in synchrotron radiation beamlines
摘要
关键词
同步辐射光束线/碳污染/质谱分析/辉光放电清洗分类
数理科学引用本文复制引用
李波,陈明,吴佳兴,刘俊男,薛松..辉光放电清洗在同步辐射光束线上的应用[J].光学精密工程,2018,26(10):2389-2394,6.基金项目
国家重大科学仪器设备开发专项(No.Y319071061) （No.Y319071061）
中国科学院上海应用物理研究所青年学者发展协作组资助项目(No.Y329051061) （No.Y329051061）
