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极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备

匡尚奇 李硕 杨海贵 霍同林 周洪军

光学精密工程2018，Vol.26Issue(10)：2395-2406,12.
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光学精密工程2018，Vol.26Issue(10)：2395-2406,12.DOI:10.3788/OPE.20182610.2395

极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备

Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses

匡尚奇 1李硕 1杨海贵 2霍同林 3周洪军3

作者信息

  • 1. 长春理工大学理学院,吉林长春130022
  • 2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033
  • 3. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥230029
  • 折叠

摘要

关键词

多层膜设计/极紫外/离散化设计/宽带多层膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

匡尚奇,李硕,杨海贵,霍同林,周洪军..极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备[J].光学精密工程,2018,26(10):2395-2406,12.

基金项目

国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61405189) （No.61405189）

吉林省科技发展计划资助项目(No.20150101019JC,20170312024ZG) （No.20150101019JC,20170312024ZG）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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