光学精密工程2018，Vol.26Issue(10)：2516-2526,11.DOI:10.3788/OPE.20182610.2516
球面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度影响因素的研究
Factors affecting the machining precision of a micro-lens array on a spherical surface in slow tool servo machining
摘要
关键词
微透镜阵列/慢刀伺服/表面粗糙度/形状精度分类
机械制造引用本文复制引用
孙豪,起建立,林泽钦,王素娟,颜志涛..球面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度影响因素的研究[J].光学精密工程,2018,26(10):2516-2526,11.基金项目
国家自然科学基金联合基金资助项目(No.U1601202) （No.U1601202）
广东省自然科学基金资助项目(No.2015A030312008) （No.2015A030312008）
广东省科技研发资助项目(No.2015B090921007) （No.2015B090921007）
