现代制造工程Issue(11)：107-111,5.DOI:10.16731/j.cnki.1671-3133.2018.11.019
玻璃基板光学检测仪器气浮工作台特性仿真研究
Simulation study on the characteristics of air bearing table in glass substrate optical detection equipment
摘要
关键词
气浮工作台/毛细管节流/静特性/Fluent数值仿真分类
机械制造引用本文复制引用
权露,陶晓杰,张群,张蓝..玻璃基板光学检测仪器气浮工作台特性仿真研究[J].现代制造工程,2018,(11):107-111,5.基金项目
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ220749) （2013YQ220749）
