无机材料学报2018，Vol.33Issue(11)：1219-1224,6.DOI:10.15541/jim20180033
NH3/HTMS气相法改性SiO2增透膜的耐环境稳定性
Environmental Stable SiO2Antireflective Coating Modified via NH3/HTMS Vapor Phase Treatment
摘要
关键词
溶胶–凝胶/耐环境稳定性/增透膜/气氛处理分类
数理科学引用本文复制引用
赵慧月,王晓栋,冯建斌,刘源,黄吉辰,沈军..NH3/HTMS气相法改性SiO2增透膜的耐环境稳定性[J].无机材料学报,2018,33(11):1219-1224,6.基金项目
国家重点研发计划"纳米科技"重点专项(2017YFA0204600) （2017YFA0204600）
国家自然科学基金(11874288) （11874288）
上海市教育发展基金会和上海市教育委员会"晨光计划"(14CG19) （14CG19）
中央高校基本科研业务专项资金 （）
