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外电场辅助化学气相沉积方法制备网格状β-Ga2O3纳米线及其特性研究

冯秋菊 李芳 李彤彤 李昀铮 石博 李梦轲 梁红伟

物理学报2018，Vol.67Issue(21)：360-365,6.
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物理学报2018，Vol.67Issue(21)：360-365,6.DOI:10.7498/aps.67.20180805

外电场辅助化学气相沉积方法制备网格状β-Ga2O3纳米线及其特性研究

Growth and characterization of grid-like β-Ga2O3 nanowires by electric field assisted chemical vapor deposition method

冯秋菊 1李芳 1李彤彤 1李昀铮 1石博 1李梦轲 1梁红伟2

作者信息

  • 1. 辽宁师范大学物理与电子技术学院,大连116029
  • 2. 大连理工大学微电子学院,大连116024
  • 折叠

摘要

关键词

外电场/化学气相沉积/β-Ga2O3/纳米线

引用本文复制引用

冯秋菊,李芳,李彤彤,李昀铮,石博,李梦轲,梁红伟..外电场辅助化学气相沉积方法制备网格状β-Ga2O3纳米线及其特性研究[J].物理学报,2018,67(21):360-365,6.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:61574026,11405017)和辽宁省自然科学基金(批准号:201602453)资助的课题. （批准号:61574026,11405017）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

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