物理学报2018，Vol.67Issue(22)：288-300,13.DOI:10.7498/aps.67.20181400
相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响
Effect of phase angle on plasma characteristics in electrically asymmetric capacitive discharge
摘要
关键词
容性耦合等离子体/流体模拟/电非对称效应/径向均匀性引用本文复制引用
胡艳婷,张钰如,宋远红,王友年..相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响[J].物理学报,2018,67(22):288-300,13.基金项目
国家自然科学基金(批准号:11405019,11675036,11335004)和中国博士后科学基金(批准号:2015T80244)资助的课题. （批准号:11405019,11675036,11335004）
