轻工机械2018，Vol.36Issue(6)：15-19,5.DOI:10.3969/j.issn.1005-2895.2018.06.004
晶圆传输机器人末端执行器的结构设计
Structure Design and Optimization of End-Effector for Wafer Transfer Robot
摘要
关键词
晶圆传输机器人/末端执行器/UG软件/ANSYS仿真分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
高强,宋芳..晶圆传输机器人末端执行器的结构设计[J].轻工机械,2018,36(6):15-19,5.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金项目:基于微结构阵列的高摩擦低粘附晶圆高效传输机理与主动控制方法研究(51505273). （51505273）
