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基于频率自适应的航空用高精度硅谐振压力传感器的频率测试系统研究

谢波 李亚东 朱林 项超 鲁毓岚 陈德勇 王军波 洪文

传感技术学报2018,Vol.31Issue(11):1628-1632,5.
传感技术学报2018,Vol.31Issue(11):1628-1632,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2018.011.002

基于频率自适应的航空用高精度硅谐振压力传感器的频率测试系统研究

The Study on the Frequency Adapted Frequency Measurement System of High Accuracy Resonant Pressure Sensor

谢波 1李亚东 1朱林 2项超 3鲁毓岚 1陈德勇 2王军波 1洪文2

作者信息

  • 1. 中国科学院电子学研究所,北京100190
  • 2. 中国科学院大学,北京101409
  • 3. 中国电子科技集团公司第五十四研究所,石家庄050081
  • 折叠

摘要

关键词

谐振式压力传感器/频率测量/频率自适应/输入捕获/响应时间

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

谢波,李亚东,朱林,项超,鲁毓岚,陈德勇,王军波,洪文..基于频率自适应的航空用高精度硅谐振压力传感器的频率测试系统研究[J].传感技术学报,2018,31(11):1628-1632,5.

基金项目

国家973计划项目(2014CB744600) (2014CB744600)

国家自然科学基金(61431019) (61431019)

中国科学院STS项目 ()

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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