传感技术学报2018，Vol.31Issue(11)：1657-1661,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2018.011.007
边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度
Measurement of Insulation Thickness on Metal Substrate Employing Fringing Field Capacitance Sensor
摘要
关键词
厚度测量/边缘场电容/有限元/单一平面电容分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵俊明,王文廉..边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度[J].传感技术学报,2018,31(11):1657-1661,5.基金项目
传感激光准δ脉冲动态校准系统研究项目基金(KF201806) （KF201806）
