传感技术学报2018，Vol.31Issue(11)：1770-1774,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2018.011.026
基于应变式传感器的压电陶瓷定位系统设计
The Design of Detection System Applied in Piezoelectric Ceramic Positioning Based on Strain Gauge Sensor
摘要
关键词
应变传感器/微位移检测/数字滤波/压电陶瓷/原子力显微镜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
范青武,徐辽,刘旭东,张恒,张跃飞..基于应变式传感器的压电陶瓷定位系统设计[J].传感技术学报,2018,31(11):1770-1774,5.基金项目
科技部国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ03007508) （2012YQ03007508）
国家自然科学基金(21676005) （21676005）
