河北科技大学学报2018，Vol.39Issue(6)：487-493,7.DOI:10.7535/hbkd.2018yx06002
尺寸形貌对硅纳米锥阵列结构反射特性的影响
Effect of size and shape on reflective properties of silicon nanocone arrays
摘要
关键词
等离子体动力学/干法刻蚀/硅纳米锥阵列/亚波长结构/减反射分类
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黎相孟,祝锡晶,魏慧芬,崔学良,李建素..尺寸形貌对硅纳米锥阵列结构反射特性的影响[J].河北科技大学学报,2018,39(6):487-493,7.基金项目
国家自然科学基金(51705479) （51705479）
山西省青年科技研究基金(201701D221128,201701D221167) （201701D221128,201701D221167）
中北大学校科学基金(2017005) （2017005）
