光学精密工程2018，Vol.26Issue(11)：2639-2646,8.DOI:10.3788/OPE.20182611.2639
半导体双波长透射式红外干涉仪的研制及应用
Fabrication and application of dual-wavelength infrared transmission-type interferometer
摘要
关键词
光学检测/干涉测量/半导体双波长/红外干涉仪/离轴非球面分类
机械制造引用本文复制引用
..半导体双波长透射式红外干涉仪的研制及应用[J].光学精密工程,2018,26(11):2639-2646,8.基金项目
十三五国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目资助(No.2016YFF0101900) （No.2016YFF0101900）
