硅酸盐学报2019，Vol.47Issue(1)：27-32,6.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.2019.01.03
SiC籽晶上生长AlN单晶的杂质组成及处理
Composition and Treatment of Impurities in AlN Single Crystal Grown on SiC Seed
摘要
关键词
氮化铝单晶/碳化硅籽晶/杂质组成/杂质处理分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张丽,齐海涛,程红娟,金雷,史月增..SiC籽晶上生长AlN单晶的杂质组成及处理[J].硅酸盐学报,2019,47(1):27-32,6.基金项目
国家重点研发计划项目(2017YFB0404103) （2017YFB0404103）
国家自然科学基金项目(51702297) （51702297）
天津市第二批特支计划高层次创新创业团队支持项目. （）
