硅酸盐学报2019，Vol.47Issue(1)：43-47,5.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.2019.01.06
研磨液在氧化镓晶体研磨中的作用
Effect of Lapping Fluid on β-Ga2O3 Crystal Lapping Process
摘要
关键词
氧化镓晶体/研磨/研磨液/晶体解理分类
数理科学引用本文复制引用
黄传锦,周海,朱永伟,徐晓明,李军..研磨液在氧化镓晶体研磨中的作用[J].硅酸盐学报,2019,47(1):43-47,5.基金项目
国家自然科学基金项目(51675457) （51675457）
江苏省产学研前瞻性创新资金项目(BY2016065-55). （BY2016065-55）
