硅酸盐学报2019，Vol.47Issue(1)：62-70,9.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.2019.01.09
DLC层厚度对CNx/DLC多层膜结构及摩擦学性能的影响
Effects of Diamond-like Carbon (DLC) Layer Thickness on Microstructure and Tribological Properties of Magnetron Sputtered CNx/DLC Multilayer Films
摘要
关键词
类金刚石碳膜/氮化碳薄膜/多层膜/硬度/耐磨性分类
矿业与冶金引用本文复制引用
杨芳儿,龚润泽,王贡启,杨烁妍,常新新,郑晓华..DLC层厚度对CNx/DLC多层膜结构及摩擦学性能的影响[J].硅酸盐学报,2019,47(1):62-70,9.基金项目
浙江省自然科学基金资助项目(LY15E010007). （LY15E010007）
