佛山科学技术学院学报（自然科学版）2018，Vol.36Issue(4)：1-5,5.
基于Al诱导结晶在SiO2衬底上生长(111)晶向平面多晶Ge薄膜的研究
Research on the (111)-orientation planes of ploy-Ge thin films grown on SiO2 substrate by Al-induced crystallization
摘要
关键词
Al诱导结晶/多晶Ge薄膜/扩散控制层/低温退火分类
通用工业技术引用本文复制引用
董少光,庄君活,曾亚光..基于Al诱导结晶在SiO2衬底上生长(111)晶向平面多晶Ge薄膜的研究[J].佛山科学技术学院学报（自然科学版）,2018,36(4):1-5,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(11474053) （11474053）
佛山科学技术学院大学生创新创业训练项目(XJ2017231) （XJ2017231）
