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多孔硅的特性研究及一维多孔硅光子晶体的制备

赵杨

大科技Issue(3)：267-268,2.
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大科技Issue(3)：267-268,2.

多孔硅的特性研究及一维多孔硅光子晶体的制备

赵杨1

作者信息

  • 1. 长春理工大学理学院 长春 130022
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摘要

关键词

多孔硅/电化学腐蚀/孔隙度/多孔层厚度/一维多孔硅光子晶体

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵杨..多孔硅的特性研究及一维多孔硅光子晶体的制备[J].大科技,2019,(3):267-268,2.

大科技

1004-7344

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