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退火温度对旋涂法制备SnO2薄膜性能的影响

ZHANG Xu PENG Jun-biao LIU Xian-zhe YUAN Wei-jian DENG Yu-xi ZHANG Xiao-chen WANG Shuang WANG Jia-liang NING Hong-long YAO Ri-hui

发光学报2019，Vol.40Issue(2)：164-170,7.

发光学报2019，Vol.40Issue(2)：164-170,7.DOI:10.3788/fgxb20194002.0164

退火温度对旋涂法制备SnO2薄膜性能的影响

Effect of Annealing Temperature on Properties of SnO2 Thin Films Prepared by Spin Coating

ZHANG Xu ¹PENG Jun-biao ¹LIU Xian-zhe ¹YUAN Wei-jian ¹DENG Yu-xi ¹ZHANG Xiao-chen ¹WANG Shuang ¹WANG Jia-liang ¹NING Hong-long ¹YAO Ri-hui¹

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摘要

关键词

二氧化锡薄膜/旋涂法/退火/光学特性/电学特性

分类

数理科学

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ZHANG Xu,PENG Jun-biao,LIU Xian-zhe,YUAN Wei-jian,DENG Yu-xi,ZHANG Xiao-chen,WANG Shuang,WANG Jia-liang,NING Hong-long,YAO Ri-hui..退火温度对旋涂法制备SnO2薄膜性能的影响[J].发光学报,2019,40(2):164-170,7.

基金项目

国家重点研发计划(2016YFB0401504) （2016YFB0401504）

国家自然科学基金(51771074,51521002,U1601651) （51771074,51521002,U1601651）

国家重点基础研究发展规划项目计划(973计划)(2015CB655004) （973计划）

广东省自然科学基金(2016A030313459,2017A030310028) （2016A030313459,2017A030310028）

广东省科技计划(2016B090907001,2016A040403037,2016B090906002,2017B090907016,2017A050503002) （2016B090907001,2016A040403037,2016B090906002,2017B090907016,2017A050503002）

广州科技计划(201804020033)资助项目（201804020033）

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-7032

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