轻工机械2019，Vol.37Issue(1)：61-64,4.DOI:10.3969/j.issn.1005-2895.2019.01.011
基于位姿调整的晶圆传输机器人轨迹规划
Trajectory Planning of Wafer Transfer Robot Based on Pose Adjustment
摘要
关键词
晶圆传输机器人/末端执行器/轨迹规划/S曲线/算法仿真分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
CAI Changzong,SONG Fang..基于位姿调整的晶圆传输机器人轨迹规划[J].轻工机械,2019,37(1):61-64,4.基金项目
国家青年科学基金项目"基于微结构阵列的高摩擦低粘附晶圆高效传输机理与主动控制方法的研究"(51505273). （51505273）
