液晶与显示2019，Vol.34Issue(1)：33-38,6.DOI:10.3788/YJYXS20193401.0033
光刻法图案化石墨烯研究
Patterning graphene by photolithography
LYU Zhi-jun 1ZHANG Feng 1LIU wen-qu 1DONG Li-wen 1SONG Xiao-xin 1CUI Zhao 1WANG Li-bo 1MENG De-tian1
作者信息
摘要
关键词
光刻/石墨烯/方块电阻/关键尺寸分类
化学化工引用本文复制引用
LYU Zhi-jun,ZHANG Feng,LIU wen-qu,DONG Li-wen,SONG Xiao-xin,CUI Zhao,WANG Li-bo,MENG De-tian..光刻法图案化石墨烯研究[J].液晶与显示,2019,34(1):33-38,6.
