电子器件2019，Vol.42Issue(1)：5-8,4.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2019.01.002
退火温度对溶胶-凝胶法制备的 AZO薄膜性能影响的研究
The Influence of Annealing Temperature on The Properties of AZO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method
摘要
关键词
半导体材料/AZO薄膜/溶胶-凝胶法/退火温度分类
通用工业技术引用本文复制引用
赵婷婷,薛剑鸣,王威,郝凌云,陈相均,张昕曜,支国伟..退火温度对溶胶-凝胶法制备的 AZO薄膜性能影响的研究[J].电子器件,2019,42(1):5-8,4.基金项目
江苏省大学生创新训练重点项目(201713573005Z),金陵科技学院博士启动资金项目(jit-b-201612),金陵科技学院科研激励项目(jit-fhxm-201609) （201713573005Z）
