电子器件2019，Vol.42Issue(1)：37-40,4.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2019.01.009
压电微泵的特性测试与分析
The Characteristic Testing and Analysis of Piezoelectric Micropump
摘要
关键词
微机电系统/微泵/流量测试/压电/黏度/有阀分类
机械制造引用本文复制引用
韩熠,毛明健,李廷华,陈李,吴俊,朱东来,徐溢..压电微泵的特性测试与分析[J].电子器件,2019,42(1):37-40,4.基金项目
新型烟草产品开发前沿技术研究及应用项目(2017XY01) （2017XY01）
中央高校基本科研项目(106112017CDJPT120002) （106112017CDJPT120002）
