硅酸盐学报2019，Vol.47Issue(2)：243-249,7.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.2019.02.13
气溶胶辅助CVD法制备F掺杂SnO2薄膜及其性能
Properties of F-doped SnO2 Films Prepared with Aerosol-Assisted Chemical Vapor Deposition
摘要
关键词
气溶胶辅助化学气相沉积法/氟掺杂二氧化锡薄膜/氟掺杂量/电学性能/光致发光分类
通用工业技术引用本文复制引用
王轩,梁波,邸庆银,赵洪力,杨静凯..气溶胶辅助CVD法制备F掺杂SnO2薄膜及其性能[J].硅酸盐学报,2019,47(2):243-249,7.基金项目
国家青年自然科学基金(51602278) （51602278）
河北省自然科学基金青年科学基金(E2016203149) （E2016203149）
河北省教育厅高等学校科技计划青年拔尖人才(BJ2018004). （BJ2018004）
