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基于硅纳米线检测的微加速度计设计与噪声分析

程壑 王宾 蒋孝勇 李孟委 唐军

中北大学学报（自然科学版）2019，Vol.40Issue(1)：84-89,6.
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中北大学学报（自然科学版）2019，Vol.40Issue(1)：84-89,6.DOI:10.3969/j.issn.1673-3193.2019.01.015

基于硅纳米线检测的微加速度计设计与噪声分析

Micro-Accelerometer Design and Noise Analysis Based on Silicon Nanowires

程壑 1王宾 2蒋孝勇 1李孟委 3唐军2

作者信息

  • 1. 中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原030051
  • 2. 中北大学仪器与电子学院,山西太原030051
  • 3. 中北大学微系统集成研究中心,山西太原030051
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摘要

关键词

微加速度计/硅纳米线/噪声分析/灵敏度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

程壑,王宾,蒋孝勇,李孟委,唐军..基于硅纳米线检测的微加速度计设计与噪声分析[J].中北大学学报（自然科学版）,2019,40(1):84-89,6.

基金项目

武器装备预研基金资助项目(9140A20040515BQ04283) （9140A20040515BQ04283）

中北大学学报（自然科学版）

1673-3193

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