计量学报2019，Vol.40Issue(2)：189-195,7.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2019.02.03
平面度计量——点线面之间的量值传递与控制
Flatness Metrology——Value Transfer and Control of Point,Section and Surface
摘要
关键词
计量学/平面度/量值传递/相移干涉仪/特征截面分类
通用工业技术引用本文复制引用
王青,顾洋..平面度计量——点线面之间的量值传递与控制[J].计量学报,2019,40(2):189-195,7.基金项目
国家重大仪器专项开发(2013YQ150829) （2013YQ150829）
