传感技术学报2019，Vol.32Issue(2)：190-194,200,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.02.006
基于阶梯掩膜腐蚀的圆柱壳体振动陀螺谐振子的亚表面残余应力测试与分析
Measurement and Analyse of Resonator’s Subsurface Residual Stress of Cylindrical Shell Vibration Gyroscope Based on Step Mask Corrosion
摘要
关键词
谐振子/亚表面残余应力/阶梯掩膜化学腐蚀分类
机械制造引用本文复制引用
曲洛振,吴宇列,席翔,张勇猛,吴学忠..基于阶梯掩膜腐蚀的圆柱壳体振动陀螺谐振子的亚表面残余应力测试与分析[J].传感技术学报,2019,32(2):190-194,200,6.基金项目
国家自然科学基金项目(513300069,51505489) （513300069,51505489）
