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磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜

张敏 杜鹃

中国新技术新产品Issue(5)：12-13,2.
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中国新技术新产品Issue(5)：12-13,2.

磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜

张敏 1杜鹃1

作者信息

  • 1. 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司,青海西宁810000
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摘要

关键词

直流磁控溅射技术/低温制备/高电导/高透明/氢掺杂AZO薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

张敏,杜鹃..磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜[J].中国新技术新产品,2019,(5):12-13,2.

中国新技术新产品

1673-9957

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