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AlN陶瓷Mo-Mn法金属化的机理研究

陈欣杨洁黄刚李天涛向军陈弹蛋刘平

真空电子技术Issue(1)：60-64,77,6.

真空电子技术Issue(1)：60-64,77,6.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.01.13

Metallization Mechanism of Molybdenum-Manganese Process for AlN Ceramics

陈欣 ¹杨洁 ¹黄刚 ¹李天涛 ¹向军 ¹陈弹蛋 ¹刘平¹

作者信息

Mo-Mn法/氮化铝陶瓷/金属化层/氧化

通用工业技术

陈欣,杨洁,黄刚,李天涛,向军,陈弹蛋,刘平..AlN陶瓷Mo-Mn法金属化的机理研究[J].真空电子技术,2019,(1):60-64,77,6.

四川省科技计划资助项目(2018GZ0150) （2018GZ0150）

ISSN：1002-8935

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