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隧道磁阻微陀螺结构设计与加工

丁希聪 李孟委 秦世洋

中北大学学报（自然科学版）2019，Vol.40Issue(2)：180-185,6.
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中北大学学报（自然科学版）2019，Vol.40Issue(2)：180-185,6.DOI:10.3969/j.issn.1673-3193.2019.02.015

隧道磁阻微陀螺结构设计与加工

Structure Design and Processing of Tunneling Magnetoresistance Micro-Gyroscope

丁希聪 1李孟委 2秦世洋3

作者信息

  • 1. 中北大学微系统集成研究中心,山西太原030051
  • 2. 中北大学仪器与电子学院,山西太原030051
  • 3. 中北大学仪器科学与动态测试重点实验室,山西太原030051
  • 折叠

摘要

关键词

隧道磁阻效应/柯氏力/微陀螺/谐振频率/结构灵敏度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

丁希聪,李孟委,秦世洋..隧道磁阻微陀螺结构设计与加工[J].中北大学学报（自然科学版）,2019,40(2):180-185,6.

基金项目

国家自然科学基金面上项目(61571405) （61571405）

中北大学学报（自然科学版）

1673-3193

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