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一种高频高压等离子体发生器

伍远博 陶智 黄敏 顾中浩 徐超 周长伟 江均均 吴迪

科技创新与应用Issue(12):20-22,3.
科技创新与应用Issue(12):20-22,3.

一种高频高压等离子体发生器

伍远博 1陶智 1黄敏 1顾中浩 1徐超 1周长伟 1江均均 1吴迪1

作者信息

  • 1. 苏州大学 光电科学与工程学院,江苏 苏州 215006
  • 折叠

摘要

关键词

等离子体发生/全桥移相/高频谐振

分类

数理科学

引用本文复制引用

伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超,周长伟,江均均,吴迪..一种高频高压等离子体发生器[J].科技创新与应用,2019,(12):20-22,3.

基金项目

苏州大学"大学生创新创业训练计划"(编号:201710285016Z) (编号:201710285016Z)

科技创新与应用

2095-2945

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