表面技术2019，Vol.48Issue(4)：160-167,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.04.023
低转速下多弧离子镀制备的Mo-Ti-Al-N超晶格硬质涂层的微结构及背散射谱分析
Analysis on Microstructure and Backscattering Spectroscopy of Superlattice Mo-Ti-Al-N Hard Coatings Prepared by Multi-arc Ion Plating at Low Rotation Speed
摘要
关键词
多弧离子镀/纳米多层膜/Mo-Ti-Al-N超晶格涂层/微结构/调制周期/背散射谱分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王泽松,梁枫,项燕雄,李松权,田灿鑫,邹长伟..低转速下多弧离子镀制备的Mo-Ti-Al-N超晶格硬质涂层的微结构及背散射谱分析[J].表面技术,2019,48(4):160-167,8.基金项目
广东省科技计划(对外合作)项目(2018A050506082) （对外合作）
广东省自然科学基金(2018A030307027) （2018A030307027）
岭南师范学院自然科学研究项目(LZL1809,1170916003) （LZL1809,1170916003）
