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制备工艺参数对无氢类金刚石薄膜结构及光学性能的影响

冯建 姜宏 马艳平 张振华 那聪

材料科学与工程学报2019，Vol.37Issue(1)：40-46,75,8.
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材料科学与工程学报2019，Vol.37Issue(1)：40-46,75,8.DOI:10.14136/jc.nkii.ssn1673-2812.2019.01.008

制备工艺参数对无氢类金刚石薄膜结构及光学性能的影响

Influence of Processing Parameters on Structure and Transmittance of Diamond-Like Carbon Films

冯建 1姜宏 2马艳平 3张振华 1那聪2

作者信息

  • 1. 海南大学材料与化工学院,海南海口 570228
  • 2. 南海海洋资源利用国家重点实验室,海南海口 570228
  • 3. 海南省特种玻璃重点实验室,海南海口 570228
  • 折叠

摘要

关键词

类金刚石薄膜/磁控溅射/透过率/拉曼光谱

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

冯建,姜宏,马艳平,张振华,那聪..制备工艺参数对无氢类金刚石薄膜结构及光学性能的影响[J].材料科学与工程学报,2019,37(1):40-46,75,8.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(51562008) （51562008）

国家重点研发计划资助项目(2016YFC0700804) （2016YFC0700804）

海南省重点研发计划资助项目(ZDYF2016017) （ZDYF2016017）

材料科学与工程学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1673-2812

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