传感技术学报2019，Vol.32Issue(5)：643-648,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.05.001
微机械陀螺冲击特性及可靠性研究
Research on the Impact Characteristics and Reliability of a MEMS Gyroscope
何春华 1赵前程 2杨振川 1张大成 1闫桂珍1
作者信息
- 1. 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871
- 2. 美的集团,广东 佛山528311
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摘要
关键词
微机械陀螺/冲击可靠性/响应模型/冲击特性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
何春华,赵前程,杨振川,张大成,闫桂珍..微机械陀螺冲击特性及可靠性研究[J].传感技术学报,2019,32(5):643-648,6.
