传感技术学报2019,Vol.32Issue(5):779-783,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.05.024
基于P SD光杠杆自平衡精密电磁天平的研究
Research on Self-Balancing Precise Electromagnetic Balance Based on PSD and Optical Lever
摘要
关键词
电磁天平/PSD/光杠杆/微位移/闭环系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张会玲,鲍丙豪,吴迪,邓晓蓉..基于P SD光杠杆自平衡精密电磁天平的研究[J].传感技术学报,2019,32(5):779-783,5.基金项目
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