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一种高性能硅基锗单行载流子光电探测器设计

马鹏程 孙思维 刘丰满 薛海韵 孙瑜 何慧敏 李志雄 曹立强

光通信研究Issue(3):26-30,5.
光通信研究Issue(3):26-30,5.DOI:10.13756/j.gtxyj.2019.03.006

一种高性能硅基锗单行载流子光电探测器设计

High-Performance Si-based Ge Uni-Traveling-Carrier Photodetector

马鹏程 1孙思维 2刘丰满 1薛海韵 2孙瑜 3何慧敏 1李志雄 2曹立强3

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所,北京 100029
  • 2. 中国科学院大学,北京 100049
  • 3. 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,江苏 无锡 214135
  • 折叠

摘要

关键词

光通信/氮化硅波导/硅基锗/单行载流子光电探测器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

马鹏程,孙思维,刘丰满,薛海韵,孙瑜,何慧敏,李志雄,曹立强..一种高性能硅基锗单行载流子光电探测器设计[J].光通信研究,2019,(3):26-30,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(61874136) (61874136)

光通信研究

OA北大核心

1005-8788

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