人工晶体学报2019，Vol.48Issue(3)：443-449,7.
反应溅射法制备AZO薄膜的结构和透明导电性能
Structure and Transparent Conductive Properties of AZO Thin Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering
摘要
关键词
复合靶材/反应溅射/AZO薄膜/透明导电性/禁带宽度/品质因子分类
数理科学引用本文复制引用
祝柏林,李昆鹏,谢挺,吴隽..反应溅射法制备AZO薄膜的结构和透明导电性能[J].人工晶体学报,2019,48(3):443-449,7.基金项目
材料成型与模具技术国家重点实验室开放基金( P2014-06) （ P2014-06）
