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基于蒙特卡罗方法的4H-SiC(0001)面聚并台阶形貌演化机理

李源 石爱红 陈国玉 顾秉栋

物理学报2019,Vol.68Issue(7):262-269,8.
物理学报2019,Vol.68Issue(7):262-269,8.DOI:10.7498/aps.68.20182067

基于蒙特卡罗方法的4H-SiC(0001)面聚并台阶形貌演化机理

Formation of step bunching on 4H-SiC (0001) surfaces based on kinetic Monte Carlo method

李源 1石爱红 2陈国玉 1顾秉栋1

作者信息

  • 1. 青海民族大学交通学院,西宁810007
  • 2. 青海民族大学化学化工学院,西宁810007
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摘要

关键词

碳化硅/聚并台阶/蒙特卡罗/晶体生长

引用本文复制引用

李源,石爱红,陈国玉,顾秉栋..基于蒙特卡罗方法的4H-SiC(0001)面聚并台阶形貌演化机理[J].物理学报,2019,68(7):262-269,8.

基金项目

青海省自然科学基金(批准号:2018-ZJ-946Q)和青海民族大学自然科学基金(批准号:2017XJG05)资助的课题. (批准号:2018-ZJ-946Q)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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