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13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究

张改玲滑跃郝泽宇任春生

物理学报2019，Vol.68Issue(10)：180-189,10.

物理学报2019，Vol.68Issue(10)：180-189,10.DOI:10.7498/aps.68.20190071

Experimental investigation of plasma parameters in 13.56 MHz/2 MHz cylindrical inductively coupled plasma

张改玲 ¹滑跃 ¹郝泽宇 ¹任春生¹

作者信息

感性耦合等离子体/Langmuir双探针/发射光谱/等离子体参数

张改玲,滑跃,郝泽宇,任春生..13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究[J].物理学报,2019,68(10):180-189,10.

国家自然科学基金(批准号: 11475038)资助的课题. （批准号: 11475038）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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