光学精密工程2019，Vol.27Issue(3)：527-532,6.DOI:10.3788/OPE.20192703.0527
基于离子束溅射Ta2O5薄膜的紫外吸收膜技术
Ultraviolet absorption film technology based on ion beam sputtering Ta2O5 thin films
摘要
关键词
离子束溅射技术/紫外吸收薄膜/吸收率/透射率/反射率分类
数理科学引用本文复制引用
姜玉刚,刘华松,陈丹,王利栓,李士达,刘丹丹,姜承慧,季一勤..基于离子束溅射Ta2O5薄膜的紫外吸收膜技术[J].光学精密工程,2019,27(3):527-532,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61705165,No.61775167,No.51702231,No.61235011) （No.61705165,No.61775167,No.51702231,No.61235011）
天津市自然科学基金资助项目(No.18JCZDJC37900) （No.18JCZDJC37900）
