光学精密工程2019，Vol.27Issue(3)：542-551,10.DOI:10.3788/OPE.20192703.0542
大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展
Development of mosaic technology for large-size reflective gratings
摘要
关键词
光栅拼接/误差检测/误差分离/相位校正/拼接装置分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨国军,齐向东,于海利,李晓天,张善文,糜小涛,于宏柱..大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展[J].光学精密工程,2019,27(3):542-551,10.基金项目
国家重点基础研究计划资助项目(No.2014CB049500) （No.2014CB049500）
国家自然科学基金资助项目(No.61505204,No.61605204) （No.61505204,No.61605204）
吉林省青年人才基金资助项目(No.20170520167JH) （No.20170520167JH）
重大科学仪器设备开发专项(No.2016YFF0103304) （No.2016YFF0103304）
国家重点研发计划资助项目(No.2016YFF0102006) （No.2016YFF0102006）
