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复杂图案轮廓曝光版图的生成及工艺实现

段辉高戴彭张轼陈艺勤石惠民林子豪周艳明

光学精密工程2019，Vol.27Issue(3)：584-593,10.

光学精密工程2019，Vol.27Issue(3)：584-593,10.DOI:10.3788/OPE.20192703.0584

Realization of complex patterns via "sketch and peel" lithography

段辉高 ¹戴彭 ²张轼 ¹陈艺勤 ¹石惠民 ²林子豪 ²周艳明²

作者信息

跨尺度微纳制造/轮廓曝光/电子束曝光/边界追踪

信息技术与安全科学

段辉高,戴彭,张轼,陈艺勤,石惠民,林子豪,周艳明..复杂图案轮廓曝光版图的生成及工艺实现[J].光学精密工程,2019,27(3):584-593,10.

国家自然科学基金优秀青年基金资助项目(No.51722503) （No.51722503）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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