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基于铜银微纳米复合层低温互连技术的研究

肖金 屈福康 程伟

机电工程技术2019,Vol.48Issue(4):71-73,3.
机电工程技术2019,Vol.48Issue(4):71-73,3.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2019.04.022

基于铜银微纳米复合层低温互连技术的研究

Low-Temperature Bonding Method Based on Cu-Ag Macro-nano Multistage Coating

肖金 1屈福康 1程伟1

作者信息

  • 1. 广东工业大学华立学院,广东广州 511325
  • 折叠

摘要

关键词

低温互连/铜-银微纳米/互连强度/扩散

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

肖金,屈福康,程伟..基于铜银微纳米复合层低温互连技术的研究[J].机电工程技术,2019,48(4):71-73,3.

基金项目

广东省2015年重点平台和重大科研项目(编号:2015KQNCX219) (编号:2015KQNCX219)

机电工程技术

1009-9492

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