物理学报2018，Vol.67Issue(24)：245-251,7.DOI:10.7498/aps.67.20181537
单晶金刚石边缘表面倾斜角度对同质外延生长的影响
Effect of edge inclination of single crystal diamond on homoepitaxial growth
摘要
关键词
单晶金刚石/倾斜面/化学气相沉积/边缘台阶引用本文复制引用
耿传文,夏禹豪,赵洪阳,付秋明,马志斌..单晶金刚石边缘表面倾斜角度对同质外延生长的影响[J].物理学报,2018,67(24):245-251,7.基金项目
国家自然科学基金(批准号:15G006)和中国电子科技集团公司第四十六研究所创新基金(批准号:CJ20150701)资助的课题. （批准号:15G006）
