发光学报2019，Vol.40Issue(6)：719-724,6.DOI:10.3788/fgxb20194006.0719
直流磁控溅射生长(002)择优取向AlN薄膜及其光致发光
(002) Preferred Oriented AlN Films Grown by DC Magnetron Sputtering and Photoluminescence
摘要
关键词
磁控溅射/择优取向/光致发光/缺陷发光分类
数理科学引用本文复制引用
吕伟,刘俊,赵鹏宇,李健亮,李思达,沈龙海..直流磁控溅射生长(002)择优取向AlN薄膜及其光致发光[J].发光学报,2019,40(6):719-724,6.基金项目
沈阳市科技局应用基础研究专项(F16-205-1-16) （F16-205-1-16）
辽宁省科技厅自然科学基金(201602647)资助项目 （201602647）
