金刚石与磨料磨具工程2019，Vol.39Issue(2)：1-7,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2019.2.0001
声表面波器件用SiO2/ZnO/金刚石/Si多层结构制备
Preparing SiO2/ZnO/ diamond/silicon multilayer structure for surface acoustic wave devices
摘要
关键词
金刚石膜/磁控溅射/SiO2/ZnO/金刚石/硅多层结构/声表面波器件分类
化学化工引用本文复制引用
陈良贤,刘金龙,闫雄伯,邵明阳,安康,魏俊俊,李成明..声表面波器件用SiO2/ZnO/金刚石/Si多层结构制备[J].金刚石与磨料磨具工程,2019,39(2):1-7,7.基金项目
国家重点研发计划(No.2018YFB0406501). （No.2018YFB0406501）
